1200℃双温区CVD系统（低真空、高真空）

气路系统参数

质量流量计参考量程（N₂)：100sccm、200sccm、500sccm （量程可选）

准确度：±1.5%

线性：±0.5～1.5%

重复精度：±0.2%

响应时间：≤10 sec

工作压差范围：0.1～0.5 MPa

最大压力：3MPa

接口：Φ6,1/4''

显示：4位数字显示

工作环境温度：5~45高纯气体

内外双抛不锈钢管：Φ6

压力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀：Φ6

连接头类型：双卡套不锈钢接头。

可选配一路、两路、三路、四路、五路等以上质量流量计。

低真空系统参数

抽速:10m³/h

极限真空度：5*10^-1pa

电源：220V 50HZ

电机功率：0.4kw

进排气连接口：KF25

用油量：1.1L

电机转速：1440rpm

工作环境温度：5-40℃

噪音：≤56db

电阻真空计参数：

1.配用规管：电阻规，

2.测量范围： 10⁵～10^-1Pa，

3.测量路数： 1路

4.控制范围： 5×10³～5×10^-1Pa，

5.控制方式：继电器触点输出，负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载，

6.电源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz，

7.功耗： 20W

高真空系统参数

空气相对湿度：≤85%

工作电压：AC220V±10% 50/60HZ

功率：1KW

系统整体极限真空度：10^-5Pa

实验真空度：10^-3Pa

外形尺寸：850×600×650mm

机械泵:

抽气速率：10m³/h

容油量：1.1L

电机功率：400W

极限压强：6×10^-2Pa

分子泵:

抽气速率：100L/S

极限压强：6×10^-6Pa

启动时间：＜2min

额定转速：4300转/分

冷却方式：环境温度5-32℃时，风冷；5-40℃时，水冷。

分子泵控制器:

电压：220V±22V

启动电流：≤7A

输入频率：47HZ~63HZ

最大输出功率：≤150W

最大加速电压：≤40V

加速时间：≤3min

频率（双速）：高速705HZ±10HZ

低速430HZ±5HZ

复合真空计:

测量路数：2路（电阻规、电离规各1路）

工作模式：手动/自动

电阻单元参数

规管型号：电阻规

测量范围：1.0×10⁵Pa~1.0×10^-1Pa

有效范围：2.5×10³Pa~5.0×10^-1Pa

控制范围：2.5×10³Pa~5.0×10^-1Pa

电离单元参数

规管型号：电离规

可测范围：5.0Pa~1.0×10^-5Pa

有效范围：1.0Pa~5.0×10^-5Pa

控制范围：1.0Pa~5.0×10^-5Pa

规管除气方式：焦耳去气

其他参数

控制路数：4路

控制方式：点动或区域控制/带掉电记忆

控制精度：±1%

采样时间：1s

电源：220V±10% 50HZ

功耗：50W

使用环境温度：0℃~45℃

湿度：≤85%

连接管路:采用全不锈钢，电抛光制作，零件焊接漏率优于1.0×10^-9Pa.m³/s

备注：

根据工艺要求可选配低真空或高真空系统