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详细介绍
| 品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 进口 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 电子,综合 |
小三温区滑轨CVD技术参数
小三温区滑轨CVDBTF-1200C-III-S-SL-4ZL |
|
尺寸 |
750×440×590mm ( 炉子)/2000×490×760mm ( 炉子+滑轨） |
炉管尺寸 |
Ø50/Ø60/Ø80/Ø100*1850mm(各管径可选） |
加热区长度 |
200+200+200mm(600mm) |
恒温区长度 |
300mm |
工作温度 |
1100℃ |
最高温度 |
1200摄氏度 |
控温方式 |
模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能 |
控温精度 |
±1℃ |
推荐升温速率 |
10-20℃/min |
额定电压 |
AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz |
额定功率 |
6KW |
供气系统 |
|
外形尺寸 |
600x600x650mm |
连接头类型 |
双卡套不锈钢接头 |
标准量程（N2) |
100、200、500sccm（可根据用户要求定制） |
准确度 |
±1.5%F.S. |
线性 |
±0.5～1.5%F.S |
重复精度 |
±0.2%F.S. |
响应时间 |
气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec |
工作压差范围 |
0.1～0.5 MPa |
最大压力 |
3MPa |
接口 |
Φ6,1/4'' |
显示 |
4位数字显示 |
工作环境温度 |
5~45高纯气体 |
内外双抛不锈钢管 |
Φ6 |
压力真空表 |
－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
截止阀 |
Φ6 |
低真空机组 |
|
工作环境 |
5℃～40℃ |
空气相对湿度 |
≤85% |
工作电电压 |
220V±10% 50~60HZ |
功率 |
1KW |
抽气速率 |
10m³/h |
极限真空 |
5X10-1Pa |
工作压力范围 |
1.01325X105～1.33X10-2Pa |
耐压值 |
0.03MPa |
容油量 |
1.1L |
进气口口径 |
KF25 |
排气口口径 |
KF25 |
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