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大三温区滑轨CVD系统（低真空、高真空环境）

简要描述：BTF-1200C-III-SL-4ZL大三温区滑轨CVD系统（低真空、高真空环境）控温方式:模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能.

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品牌	其他品牌	产地类别	进口
应用领域	电子,综合

大三温区滑轨CVD系统(低真空、高真空环境)技术参数

BTF-1200C-III-SL-4ZL
尺寸	1080×440×590mm ( 炉子)/2000×490×760mm ( 炉子+滑轨）
炉管尺寸	Ø50/Ø60/Ø80/Ø100/Ø130*2330mm(各管径可选）
加热区长度	300+300+300mm(900mm)
恒温区长度	500mm
工作温度	1100℃
最高温度	1200摄氏度
控温方式	模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能
控温精度	±1℃
推荐升温速率	10-20℃/min
额定电压	AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz
额定功率	7KW
供气系统
外形尺寸	600x600x650mm
连接头类型	双卡套不锈钢接头
标准量程（N2)	100、200、500sccm（可根据用户要求定制）
准确度	±1.5%F.S.
线性	±0.5～1.5%F.S
重复精度	±0.2%F.S.
响应时间	气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec
工作压差范围	0.1～0.5 MPa
最大压力	3MPa
接口	Φ6,1/4''
显示	4位数字显示
工作环境温度	5~45高纯气体
内外双抛不锈钢管	Φ6
压力真空表	－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止阀	Φ6
低真空机组
工作环境	5℃～40℃
空气相对湿度	≤85%
工作电电压	220V±10% 50~60HZ
功率	1KW
抽气速率	10m³/h
极限真空	5X10-1Pa
工作压力范围	1.01325X105～1.33X10-2Pa
耐压值	0.03MPa
容油量	1.1L
进气口口径	KF25
排气口口径	KF25

大三温区滑轨CVD系统(低真空、高真空环境)

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