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智能型PECVD系统

简要描述:PECVD-III-500A-D210是一款智能型PECVD系统。该设备主要分为四大部分:多温区管式炉、射频组件、气路系统、及自动化控制软件集成系统。

  • 产品型号:PECVD-III-500A-D210
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-09-04
  • 访 问 量:16

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    详细介绍

    品牌 贝意克 产地类别 国产
    应用领域 综合

    智能型PECVD系统

    该设备主要分为四大部分:多温区管式炉、射频组件、气路系统、及自动化控制软件集成系统。

    1、开启式加热炉

    加热炉膛采用超轻氧化铝纤维材料,配K型热电偶,6点控温;设备升降温控制灵活、加热炉可电动开启方便客户更换维修反应管。

    2、气路系统

    可由质量流量计精确控制多路气体按不同流量进行混合配比,另外单独1路过鼓泡器后进入反应管内。

    3、射频组件
    1000W高性能射频辉光均匀,可使整个反应腔体都处于辉光产生区。
    4、 智能控制系统
    采用智能PID模糊控制,30段可编程控制。具有超温和断偶报警功能。


    智能型PECVD系统

    最高温度

    1200℃

    持续工作温度

    ≤1100℃

    升温速率

    ≤10℃/min

    控温精度

    ±1℃

    加热元件

    电阻丝

    热电偶

    K型

    控温方式

    模糊PID控制和自整定调节,人工智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能,人机界面加PLC控制,15寸液晶屏控制,数字工控仪表双控,采用工业智能控温仪和软件实现双控

    加热总功率

    ≤15KW

    加热区尺寸

    300+300+300mm

    射频功率

    1000W

    设备尺寸

    2550*850*1600mm

    设备重量

    约600KG

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